Implementation of MeV heavy-ion implantation into a microstructures with a defined pattern structure using a nuclear microprobe
Oleksandr Romanenko, Petr Malinsky, Vladimir Havranek, Anna Mackova
Published
AMULET - Advanced MUltiscaLe materials for key Enabling Technologies
Ústav fyzikální chemie J. Heyrovského AV ČR, v. v. i.
Vysoká škola chemicko-technologická v Praze
Univerzita Karlova
Ústav organické chemie a biochemie AV ČR, v. v. i.
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR, v. v. i.
Univerzita Jana Evangelisty Purkyně v Ústí nad Labem
Partneři
